一.產(chǎn)品簡介
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
二.SJ6000激光干涉儀顯著特點(diǎn)
1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好
①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)
③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。
④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析
③ 可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。
②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量兩種功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。
③向?qū)讲僮�，流程清晰，更符合國�?nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價(jià)比高
性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國內(nèi)儀器的良心價(jià)。
三.技術(shù)參數(shù)
系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式：單頻
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
² 工作溫度范圍：0~40℃
² 環(huán)境溫度范圍：0~40℃
² 存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
² 大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)
線性測(cè)量
² 測(cè)量距離：0-40m
² 測(cè)量精度：0.5ppm (0-40℃)
² 測(cè)量分辨率：1nm
² 測(cè)量最大速度：4m/sec
角度測(cè)量
² 軸向量程：0-15m
² 測(cè)量范圍：±10°
² 測(cè)量精度：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.1μm/m
直線度測(cè)量
² 軸向量程：0.1-4.0 m
² 測(cè)量范圍：±2.5 mm
² 測(cè)量精度：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.01μm
垂直度測(cè)量
² 測(cè)量范圍：±3/M mm/m
² 測(cè)量精度：±0.5% R±2.5±0.8M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.01μm/m
平面度測(cè)量
² 軸向量程：0-15 m
² 測(cè)量范圍：±1.5 mm
² 測(cè)量精度：±0.6% R±0.02 M2 μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）
² 測(cè)量分辨率：0.1μm
回轉(zhuǎn)軸分度精度測(cè)量
² 角度測(cè)量范圍：0-360°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)角度增量：5°
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度：±1秒
² 精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)性：0.2秒
注：聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說是在“傲立機(jī)床網(wǎng)”上看到的，謝謝！
