5D/6D激光干涉儀
更新時(shí)間:2018-01-27 瀏覽數(shù):3135
儀器簡(jiǎn)介:5D/6D激光干涉儀是API的專利產(chǎn)品,一次安裝能夠同時(shí)測(cè)量線性軸的六個(gè)誤差,包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測(cè)試,使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成,實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束。
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