激光干涉儀

XL-80激光系統(tǒng)可以產(chǎn)生非常穩(wěn)定的激光光束，采用的波長(zhǎng)可溯源至國(guó)家和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。激光穩(wěn)頻精度通過(guò)動(dòng)態(tài)熱控制技術(shù)將激光管長(zhǎng)度變化控制在幾納米范圍內(nèi)，達(dá)到1年內(nèi)精度為±0.05ppm，1小時(shí)內(nèi)精度為±0.02ppm。線性測(cè)量精度在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi)，即從0oC-40oC（32oF-104oF）和650毫巴-1150毫巴的范圍內(nèi)，精度為±0.5ppm�？梢愿哌_(dá)50kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，最高線性測(cè)量速度可達(dá)4m/s，即使在最高速度下線性分辨率仍可達(dá)1nm。儀。 詳細(xì)介紹>>